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大型のFPD用ガラス基板(TFT、PDP、有機EL、SED、カラーフィルター等)、もしくはそれを収納するカセット搬送用の台車としてクリーンルーム内(クラス10~100,000対応)で使用します。第10世代まで対応しております。 現在まで国内外合わせて2000台以上の実績を元に、標準タイプからお客様の要求仕様にあわせたカスタムタイプまで幅広い対応が可能です。
用途: AGV稼動前の自動搬送ラインでのガラス基板/カセット搬送、搬送ラインメンテナンスの際のスポット搬送、またはレイアウト上AGV走行が難しいところでの使用に導入いただけます。 大規模な搬送を必要としない研究開発ライン等での使用、装置メーカー様の自社使用にも最適です。 カスタム対応が可能ですので、既にレイアウトが決定している場所へもMGVの設計をあわせることで現状ラインの変更をすることなく対応できます。 ご予算に応じた仕様提案もさせて頂いております。
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