半導体製造関連
<PGV>
半導体ウエハ基板を安全に搬送するために必須のクリーンルーム用搬送台車の紹介です。
大型化するウエハとその重量増加に伴い、ウエハカセット等のキャリア搬送はPGVのような台車を使用することがSEMI規格でも明記されています。

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300mmウエハ基板搬送台車:PGV        
300mmウエハ基板搬送台車:PGV ウエハ基板搬送台車:PGV

ウエハ基板研磨テープ        
ウエハ基板研磨テープ LCDパネル/半導体ウエハ基板研磨テープ